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微区电镀装置及其在制备声表面波声子晶体中的应用

989   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:23:22
本发明提供了一种微区电镀装置及其在制备声表面波声子晶体中的应用。该装置包括直流恒流源、电镀槽、阳极板、电镀液、温控系统、搅拌系统、夹具及电镀片。电镀片上包括一个声表面波声子晶体区域及至少两个陪镀区域；陪镀区域对称分布在声表面波声子晶体区域的两侧。本发明采用电化学沉积(电镀)法，可以精确制备基于多类单晶、多晶及非晶基底(如铌酸锂、钽酸锂、硅、二氧化硅、氮化铝、氮化镓、玻璃等)的金属材料(如镍、铜、金等)基的声表面波声子晶体。
声明：
“微区电镀装置及其在制备声表面波声子晶体中的应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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