本发明涉及集成光学光波导制作领域,具体的讲是涉及一种高温质子交换的LiNbO3光波导制造方法,该方法在铌酸锂基片上制作无相变的波导,制作出的波导主要适用于光纤陀螺的多功能
芯片,该波导制造方法依次完成熔料工序、质子交换工序、退火工序和反质子交换工序,其特征在于该方法的质子交换工序是在350℃±3℃的温度状态下进行的,其特点是:波导由纯粹HxLi1-xNbO3的α相构成,结构均匀、简单,波导的稳定性好,并且提高了成品率,降低了温度差异对基片的冲击,避免了对环境的污染,降低了器件的损耗,降低了生产成本。
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