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高温质子交换的LiNbO3光波导制造方法

972   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:23:20
本发明涉及集成光学光波导制作领域，具体的讲是涉及一种高温质子交换的LiNbO3光波导制造方法，该方法在铌酸锂基片上制作无相变的波导，制作出的波导主要适用于光纤陀螺的多功能芯片，该波导制造方法依次完成熔料工序、质子交换工序、退火工序和反质子交换工序，其特征在于该方法的质子交换工序是在350℃±3℃的温度状态下进行的，其特点是：波导由纯粹HxLi1－xNbO3的α相构成，结构均匀、简单，波导的稳定性好，并且提高了成品率，降低了温度差异对基片的冲击，避免了对环境的污染，降低了器件的损耗，降低了生产成本。
声明：
“高温质子交换的LiNbO3光波导制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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