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SIO蒸镀材料、SIO原料用SI粉末及SIO的制造方法

898   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:40
一种SIO或SIO蒸镀材料,其特征在于氢气含量在120PPM以上,或者一种SIO蒸镀材料,其特征在于,氢气含量在150PPM以上,在向基质蒸镀SIO时,可以加快成膜速度,可以有效地形成SIO蒸镀膜。通过使这些原料用SI粉末的氢气含量在30PPM以上,在制造SIO时,可以加快升华速度,可以以低成本且高效率地制造。这样,本发明的SIO制造方法可以作为食品、医疗用品和医药品等具有透明性的同时还具有阻隔性的包装材料的蒸镀材料或具有SIO蒸镀膜的锂电池用电极材料的蒸镀材料的制造方法广泛使用。
声明：
“SIO蒸镀材料、SIO原料用SI粉末及SIO的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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