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(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法

881   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:35
本发明公开了一种由通式（1）表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。（所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基（但是，可选地，其一部分可形成环）。配位体的数目由n表示，n为1-3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li（锂）、Be（铍）、Ge（锗）或Nd（钕）的情况，M为Mg（镁）且R1为甲基的情况，M为Zn（锌）且R1为甲基的情况，M为Bi（铋）且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同）。
声明：
“(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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