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复合基板及其制造方法

816   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:35
本发明提供一种能够抑制由于结合后热处理造成的损伤的复合基板的制造方法及通过该方法制造的复合基板。根据本发明的复合基板的制造方法是将作为钽酸锂晶圆或铌酸锂晶圆的压电晶圆与支撑晶圆结合在一起的复合基板的制造方法。该制造方法的特征在于将压电晶圆和支撑晶圆结合的步骤，以及对在结合步骤中结合的晶圆进行热处理的步骤，其中压电晶圆的非结合表面是镜面。
声明：
“复合基板及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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