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用于电解质膜的溅射靶的方法

1069   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:23
本发明提出了一种用于薄膜电解质的替代性溅射靶组合物或结构,从而使得溅射靶材料体系具有足够的电导率,可以使用(脉冲)DC靶能量进行溅射沉积。在由电导性溅射靶材料系统进行反应性溅射沉积之后,所述电解质膜材料获得了它们所需的电绝缘和可传导锂离子的性质。
声明：
“用于电解质膜的溅射靶的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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