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晶片夹持装置

763   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:23
本发明提供一种晶片夹持装置。所述晶片夹持装置包括基板、固定单元和解锁机构，所述固定单元在所述基板的外周布设至少三个，支撑晶片与所述基板之间保持一定距离h，所述基板的一侧设有所述解锁机构，另一侧设有用于放置晶片的安装空间；所述解锁机构相对于所述固定单元的一端位移运动，使所述固定单元的另一端向所述安装空间靠近夹持或远离松开。本发明克服晶片背面静电吸力的影响，同时为静电的的消除提供了途径，解决了锂酸锂等晶片在注入工艺过程中产生静电导致取片困难的问题。
声明：
“晶片夹持装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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