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多孔硅的强流脉冲电子束制备方法及应用

920   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:11
本发明属于材料制备领域，具体涉及一种多孔硅的强流脉冲电子束制备方法及应用。本发明首先对单晶硅片进行前处理，将单晶硅片置于强流脉冲电子束工作台上，启动强流脉冲电子束设备，对设备进行抽真空后，设定加速电压15‑25KV，能量密度2.0‑3.0J/cm2，脉冲次数5‑30次，最终获得经强流脉冲的不同孔径的多孔硅材料。本发明整个制备工艺操作简单、制得的多孔硅疏松多孔且大小均匀，具有较好的比表面积，单晶硅片用于锂离子电池后，电池容量有很大的提高，循环性能优良。
声明：
“多孔硅的强流脉冲电子束制备方法及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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