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多层介质-金属-介质波导温湿度表面等离子共振传感装置

637   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:21:56
本实用新型公开了一种多层介质‑金属‑介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射，所述的玻璃层与二氧化硅层、第一金层构成二氧化硅‑金‑玻璃的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构；玻璃层与第二金层、铌酸锂层构成玻璃‑金‑铌酸锂的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构。这种装置能够实现单一芯片的温度和湿度的多功能检测，不仅可以改善传统传感器的精度低、稳定性差、反应时间长的不足，还能利用光学传感器的特点实现如远距离传输传感、复杂温度环境特殊条件下的应用。
声明：
“多层介质-金属-介质波导温湿度表面等离子共振传感装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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