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基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置

1094   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:21:21
本实用新型公开了一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置。铌酸锂晶片上制造一对叉指电极，无盖的PDMS腔体覆盖在铌酸锂晶片的正中央，两个叉指电极分别位于PDMS腔体的两侧并呈对称分布，PDMS腔体内充满由光敏材料和纳米银线组成的液态预聚物，UV固化灯置于铌酸锂晶片下方；启动信号发生器，压电晶片受到高频交变电场的作用而激发声表面波，通过调节信号发生器的输出频率使PDMS腔体覆盖区域形成稳定的驻波场；纳米银线线性排布，待排布稳定后，采用UV固化灯对PDMS腔体进行照射，使液态预聚物固化成型。本实用新型能实现快速制造柔性的微米线电极，具有操作简便、可控性强和生产效率高等特点。
声明：
“基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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