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基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置

1036   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:21:21
本实用新型公开了一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置。铌酸锂晶片上制造一对叉指电极,无盖的PDMS腔体覆盖在铌酸锂晶片的正中央,两个叉指电极分别位于PDMS腔体的两侧并呈对称分布,PDMS腔体内充满由光敏材料和纳米银线组成的液态预聚物,UV固化灯置于铌酸锂晶片下方;启动信号发生器,压电晶片受到高频交变电场的作用而激发声表面波,通过调节信号发生器的输出频率使PDMS腔体覆盖区域形成稳定的驻波场;纳米银线线性排布,待排布稳定后,采用UV固化灯对PDMS腔体进行照射,使液态预聚物固化成型。本实用新型能实现快速制造柔性的微米线电极,具有操作简便、可控性强和生产效率高等特点。
声明:
“基于声表面波的柔性微米线电极的制造装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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