本实用新型提供声分选
芯片,包括微流控通道层、铌酸锂衬底、聚焦数字换能器;微流控通道层包括聚二甲基硅氧烷通道和带有微支柱和支架的薄聚二甲基硅氧烷层,聚二甲基硅氧烷通道与薄聚二甲基硅氧烷层采用等离子体处理粘接连接;微流控通道层和铌酸锂衬垫经过150秒的空气等离子体处理排列并结合;聚焦数字换能器采用标准提离工艺沉积在铌酸锂衬底表面。本实用新型通过移动表面声波实现非接触连续粒子分离,同时也避免了生物有害材料对生物样品的交叉污染。
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