本发明公开一系列官能化烷氧基
稀土金属镧配合物的合成方法是在惰性气体N2或者Ar保护下,等摩尔量官能化烷氧基的配体与正丁基锂在-50℃-0℃下反应2-4小时,反应得到官能化烷氧基锂盐;三氯化镧和官能化烷氧基锂(物质的量比为1:3)在无水有机溶剂中,反应48-72小时后,将得到的澄清溶液抽干,经有机低极性溶剂萃取,过滤,滤液浓缩,冷冻结晶得到配合物。该类配合物具有挥发性好,活性高,合成简单,产率高,成本低等优点,可以作为ALD前驱体制备得到致密和均匀的高K材料薄膜,薄膜厚度为4.2nm。
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