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带介电薄膜的基板及使用其的光调制元件

743   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:20:20
本发明提供一种带介电薄膜的基板，即使在将铌酸锂膜的膜厚增厚至例如1μm以上的情况下，也难以产生裂纹。本发明的带介电薄膜的基板具备：单晶基板(2)；介电薄膜(3)，其由外延形成于单晶基板(2)的主面(2a)的c轴取向的铌酸锂构成。介电薄膜(3)具有包含第一结晶和以c轴为中心使第一结晶进行了180°旋转得到的第二结晶的双晶结构，X射线衍射法进行的极点测定中，对应于第一结晶的第一衍射强度与对应于第二结晶的第二衍射强度之比为0.5以上且2.0以下。由此，容易缓和蓄积于铌酸锂膜内部的应变，因此可抑制伴随膜厚增加的裂纹的产生。
声明：
“带介电薄膜的基板及使用其的光调制元件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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