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声表面波滤波器及其制造方法

983   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:20:00
本发明涉及一种声表面波滤波器(1)，具有：第一衬底层(100)，所述第一衬底层(100)利用由钽酸锂构成的压电晶体来形成，且在所述第一衬底层(100)中利用离子注入技术对所述压电晶体掺杂锂离子或氧化锂来形成掺杂结构(102)；电极层(103)，所述电极层(103)形成在所述第一衬底层(100)的上方，且由叉指电极构成；以及覆盖层(104)，所述覆盖层(104)形成在所述电极层(103)的上方，且覆盖整个所述电极层(103)。
声明：
“声表面波滤波器及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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