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具有抗等离子体腐蚀性的微晶玻璃及包括该微晶玻璃的干式蚀刻工艺部件

978   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:19:17
本发明涉及微晶玻璃的新用途，具体是，包括类晶体和玻璃质，类晶体以焦硅酸锂作为主晶相，以从磷酸锂(Li3PO4)、偏硅酸锂(Li2SiO3)、二氧化硅(SiO2)和二氧化锆(ZrO2)中选择的至少一种晶相作为副晶相包含的微晶玻璃是其加工性优良，抗等离子体腐蚀性突出而有利于干式蚀刻工艺用部件的制造。
声明：
“具有抗等离子体腐蚀性的微晶玻璃及包括该微晶玻璃的干式蚀刻工艺部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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