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压电薄膜器件

1007   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:19:15
本发明可提高压电薄膜器件的特性。含有4个压电薄膜谐振子(R11～R14)的压电薄膜滤波器(1)具有通过粘接层(12)粘接滤波器部(11)和平坦的底座基板(13)的结构,该滤波器部(11)包含不能单独承受自重的压电体薄膜(111),该底座基板(13)机械地支撑滤波器部(11)。作为构成压电薄膜器件(111)的压电体材料,最好是从水晶、铌酸锂、钽酸锂、四硼酸锂、氧化锌、铌酸钾以及硅酸镓镧中选择的、不包含晶粒边界的单晶材料。
声明：
“压电薄膜器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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