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基于声表面波的微构件非接触式操控装置及方法

723   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:16:36
本发明公开了一种基于声表面波的微构件非接触式操控装置及方法。装置包括铌酸锂晶片、波导基底、操控腔室和八个叉指电极，操控腔室的底面粘贴有波导基底，粘贴有波导基底的操控腔室固定安装在铌酸锂晶片的中心，微构件放置在操控腔室中，铌酸锂晶片上沿着操控腔室侧面依次固定安装有八个叉指电极，每一个叉指电极均与外部的信号发生器的输出通道相连，每一个叉指电极与其下方的铌酸锂晶片均构成一个声表面波叉指换能器。方法用于实施装置的非接触式操控。本发明能实现多种模式下的微构件可控非接触平移、组装以及旋转的精准调控，具有操作简便、可控性强、设备简单、非接触以及精度高等特点。
声明：
“基于声表面波的微构件非接触式操控装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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