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声表面波器件及其制造工艺

861   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:15:14
一种声表面波器件,包括由64°旋转Y-切割铌酸锂(64LN)或36°旋转Y-切割的钽酸锂(36LT)构成的压电衬底和在其上形成的叉指电极。叉指电极包括钛缓冲金属膜和在其上形成的铝膜。在64LN衬底上,仅从选区电子衍射结果看,钛缓冲金属膜和铝膜都是单晶薄膜;在36LT衬底上,通过在钛缓冲金属膜上形成铝膜可获得取向能力强的、在(111)方向上取向的多晶铝膜。当铝膜转化成单晶或取向强的(111)取向多晶体时,都可以阻止铝原子的迁移,提高功率寿命。
声明：
“声表面波器件及其制造工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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