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加速度传感器,其制造方法和用该传感器的冲击检测装置

894   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:15:13
将由具有相对的2个主面的厚50μm、宽0.5m、长2mm的长方形的铌酸锂构成的压电基板2a、2b的主面之间以极化轴的方向成为相互相反的方向进行接合,构成压电元件2。将由铌酸锂构成的支持体4a、4b与压电元件2的一端直接接合。在压电元件2的相对的2个主面和支持体4a、4b上连续地形成由厚度0.2μm的铬-金构成的电极3a、3b,构成悬臂梁结构的双压电晶片式机-电变换元件1。从而,构成本发明的加速度传感器。
声明：
“加速度传感器,其制造方法和用该传感器的冲击检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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