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高频表面声波组件及其基板

968   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:15:13
本发明是关于一种高频表面声波组件及其基板,尤其是指一种无需以价格昂贵的蓝宝石基板做为其基板的高频表面声波组件及其基板。高频表面声波组件包括:一基板;一形成于基板的表面的第一缓冲层;一形成于第一缓冲层的表面的第二缓冲层,一形成于第二缓冲层的表面的压电层;一输入转换部;以及一输出转换部。其中,输入转换部与输出转换部成对地设置于压电层的表面或其下方。基板为硅基板,第一缓冲层为氧化硅,厚度介于0.05至0.2μm之间,第二缓冲层为氧化铝,厚度介于0.5至20μm之间,压电层为氧化锌、氮化铝、铌酸锂或钽酸锂材质的压电薄膜。
声明：
“高频表面声波组件及其基板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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