本发明公开了一种制备
石墨烯的设备和方法,该设备主要包括负离子源、分析磁铁、扫描系统、样品架、束流积分仪和真空室,采用上述设备能在能量为5-30keV的范围内进行碳团簇离子在衬底中的注入,然后利用不同温度下碳在衬底中溶解度的不同,经退火处理,使碳从衬底表面析出形成石墨烯。采用本发明设备和方法可以制备面积大、缺陷少、层数少且层数分布均匀的石墨烯,所制备的石墨烯可用作锂离子电池、超级电容器的电极材料,为石墨烯在
锂电池、电容器等工业化产品中的大规模应用提供了一种新的途径。
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