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横向激励剪切模式的声学谐振器的制造方法

999   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:14:36
本发明涉及一种横向激励剪切模式的声学谐振器的制造方法，包括：提供压电层，压电层包括单晶材料的铌酸锂和/或单晶材料的钽酸锂；在压电层的第一表面形成声学镜；声学镜包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层，第一声反射层和第二声反射层交替叠设，各第一声反射层的声阻抗小于各第二声反射层的声阻抗；在声学镜的第一表面键合承载晶圆；在压电层的第二表面形成电极单元和横向反射器。本发明将采用单晶材料的铌酸锂或钽酸锂的压电层集成到定制开发的微加工工艺流程中，形成的谐振器通过电极单元产生电场，并通过横向反射器对声波进行横向反射，从而可以激励为横向的剪切振动模式，并在3GHz以上的频率下具有高机电耦合系数和高Q值。
声明：
“横向激励剪切模式的声学谐振器的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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