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薄膜晶体管器件的制作方法、薄膜晶体管器件及显示装置

806   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:14:36
一种薄膜晶体管器件的制作方法、薄膜晶体管器件及显示装置，其包括设于基板上的栅极，设置于栅极和基板上的绝缘层，设于绝缘层上的有源层，其中，有源层中掺杂有锂元素，有源层包括顶层有源层和底层有源层，底层有源层为掺杂锂元素的氧化锌铟，顶层有源层为掺杂锂元素的氧化锌锡，底层有源层覆盖于绝缘层上，顶层有源层覆盖于底层有源层上，顶层有源层上设置有源极和漏极，绝缘保护层设于源极和漏极上，通过在有源层中掺杂锂元素，以置换有源层中的锌，从而降低了有源层的退火温度，提升了薄膜晶体管器件的的载流子迁移率、开关比，解决了传统薄膜晶体管器件存在的有源层退火温度高、制备条件苛刻的问题。
声明：
“薄膜晶体管器件的制作方法、薄膜晶体管器件及显示装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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