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显示装置的制造方法和显示装置

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:14:35
一种生产率优越、且可防止对有机层损坏、形成上部电极而长期可靠性优越的显示装置的制造方法。该方法是在基板2上把下部电极4、含发光层有机层5以及上部电极6依次层叠,从上部电极侧6提取发射光的上面发光型的显示装置1的制造方法,在基板2上形成下部电极4,在下部电极4上形成含发光层的有机层5后,通过溅射法以7nm～21nm的膜厚在有机层5上形成含有锂的上部电极6作为阴极。上部电极6的锂重量组成比是0.1%～1.9%。通过溅射法形成上部电极6是以50nm/min以下的成膜速度进行。
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