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声学谐振器的制备方法和声学谐振器

1004   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:14:02
本发明涉及一种声学谐振器的制备方法和声学谐振器，所述声学谐振器的制备方法，提供包括铌酸锂和钽酸锂中的一种的压电衬底，并且于底电极层上沉积第一声反射层，通过选择压电衬底的特定方向，采用上述声学谐振器的制备方法制备的声学谐振器可以被激励为厚度方向剪切振动模式，由于该声学谐振器采用更为优越的厚度方向剪切振动模式并选用可以支持该振动模式的铌酸锂或坦酸锂材料，因此，该声学谐振器可以在3GHz以上的频率下支持高机电耦合。
声明：
“声学谐振器的制备方法和声学谐振器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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