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适用于声表面波微流道的集成式温控系统

1091   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:11:39
一种适用于声表面波微流道的集成式温控系统，包括矩形铌酸锂基底，矩形铌酸锂基底的下方贴合有帕尔贴制冷元件，矩形铌酸锂基底的上方一侧蒸镀有聚焦型叉指换能器，聚焦型叉指换能器焦点处的矩形铌酸锂基底上蒸镀有集成式测温热电阻，集成式测温热电阻一侧的矩形铌酸锂基底的上方局部沉积有二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜上通过氧等离子体表面改性键合有Y型PDMS微流道；利用声表面波来促进微流道中微尺度流体的混合，集成式测温热电阻实时检测微流道中反应液的温度并及时反馈给温控系统，通过帕尔贴制冷元件对反应流体的温度进行调节；本发明完成多种温度敏感的生化酶促微反应，集成度高、便携性好、样本需求少，温度控制精准快速。
声明：
“适用于声表面波微流道的集成式温控系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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