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二氧化硅加载条型波导及其制作方法

1093   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:11:38
本发明属于加载条型光波导技术领域,尤其涉及一种二氧化硅加载条型波导及其制作方法。所述二氧化硅加载条型波导从下到上依次包括：单晶铌酸锂衬底、二氧化硅缓冲层、单晶铌酸锂薄膜、二氧化硅加载条，所述二氧化硅缓冲层覆盖于单晶铌酸锂衬底上，单晶铌酸锂薄膜覆盖于二氧化硅缓冲层上，若干个所述二氧化硅加载条排列、覆盖在单晶铌酸锂薄膜上。本发明制备的加载条型光波导损耗低，仅为0.16dB/cm，同时，与其他加载条用刻蚀工艺来制备的方式相比较，本发明的制备工艺中二氧化硅加载条不需要额外的刻蚀步骤，通过反剥工艺即可实现加载条的制备，制作工艺简易方便，易于实现。
声明：
“二氧化硅加载条型波导及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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