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光子芯片及其制备方法

662   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:11:37
一种光子芯片及其制备方法，芯片包括铌酸锂薄膜调制器阵列(1)、第一光耦合阵列(2)和二氧化硅波导波分复用器(3)，其中：铌酸锂薄膜调制器阵列(1)由一个及以上的铌酸锂薄膜调制器组成，用于对光信号进行调制；第一光耦合阵列(2)由一个及以上的第一光耦合结构组成，第一光耦合结构的一端连接至对应的铌酸锂薄膜调制器，并且其另一端连接至二氧化硅波导波分复用器(3)，以将调制后的光信号传输至二氧化硅波导波分复用器(3)；二氧化硅波导波分复用器(3)用于对调制后的光信号进行波分复用。实现了片上铌酸锂薄膜调制器与片上波分复用结构的单芯片集成，并提高了器件集成度。
声明：
“光子芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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