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基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造方法及装置

1072   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:08:13
本发明公开了一种基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造方法及装置。铌酸锂晶片上制有两对正交排布的铜质叉指电极，叉指电极与铌酸锂晶片构成叉指换能器，PDMS微流道覆盖在铌酸锂晶片的正中央，PDMS微流道内均布有光敏压电混合液，紫外光源置于铌酸锂晶片下方；两对叉指换能器在铌酸锂晶片上激发声表面波，四列行波在PDMS微流道覆盖区域叠加形成稳定的二维驻波场，光敏压电混合液中的压电颗粒在声辐射力作用下向声场节点移动，从而形成阵列排布的压电单元，待压电单元排布稳定后，采用紫外光源对光敏压电混合液进行照射使其交联固化。本发明具有精度高、操作简便、可控性强和生产率高等特点。
声明：
“基于超声驻波场的包覆压电单元薄膜的制造方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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