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用于固态微电池光刻制造、切单和钝化的方法和设备

974   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:08:11
提供一种制造薄膜锂电池的方法,包括将阴极集电器、阴极材料、阳极集电器、和隔开阴极材料与阳极集电器的电解质层施加到基板上,其中至少一层包含锂化的化合物,通过光刻操作至少部分地图案化该包含锂化的化合物的至少一层,该光刻操作包括通过包括湿化学处理的工艺从包含锂化的化合物的层去除光刻胶材料。另外,提供一种用于制备锂电池的方法和设备,提供第一片材,包括具有阴极材料、阳极材料、和隔开阴极材料与阳极材料的LIPON/电解质层的基板;去除第一材料的子部分以从第一片材分离多个电池单元。在一些实施例中,该方法进一步包括在该片材上沉积第二材料以覆盖多个电池单元;且去除第二材料的子部分以从第一片材分离多个电池单元。
声明：
“用于固态微电池光刻制造、切单和钝化的方法和设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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