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用于体声波谐振器制作的方法、体声波谐振器、滤波器

1050   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:08:11
本申请涉及体声波谐振器技术领域，公开一种用于体声波谐振器制作的方法，包括：提供衬底片，衬底片包括待移除层和在待移除层上形成的压电层；压电层由铌酸锂晶体或钽酸锂晶体制成；在压电层远离待移除层的一侧形成下电极结构；在下电极结构远离压电层的一侧形成谐振载体；移除待移除层；在压电层远离下电极结构的一侧形成上电极结构；在谐振载体、下电极结构之间形成空腔。这样，通过利用具有压电特性的铌酸锂晶体或钽酸锂晶体作为压电层，对压电层进行双面制作形成的体声波谐振器，从而能够由具有压电特性的铌酸锂晶体或钽酸锂晶体构成的压电层形成体声波谐振器。本申请还公开一种体声波谐振器、滤波器。
声明：
“用于体声波谐振器制作的方法、体声波谐振器、滤波器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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