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卷取式成膜装置及卷取式成膜方法

659   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:02:46
本发明能够抑制采用卷取式在膜上形成锂层时对膜的热损伤。卷取式成膜装置具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内对锂进行熔融。上述第一辊配置在上述膜的成膜面与上述锂源之间。上述第一辊具有从上述锂源接收熔融的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。
声明：
“卷取式成膜装置及卷取式成膜方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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