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方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:02:46
本发明提供用于制备无定形的硼硅酸锂或掺杂硼硅酸锂化合物的气相沉积方法，该方法包括：提供化合物的各组成元素的蒸气源，其中该蒸气源包括至少锂源、氧源、硼源和硅源、以及任选地至少一种掺杂剂元素的源；输送所述锂、所述氧、所述硼和所述硅、以及任选地所述掺杂剂元素的物流；和将来自蒸气源的组成元素共沉积在基底上，其中组成元素在该基底上反应以形成无定形化合物；其中无定形的硼硅酸锂或掺杂硼硅酸锂化合物具有在40‑65原子％范围内的锂含量，基于锂、硼和硅的组合的原子百分数计。
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“方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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