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含三种掺杂剂的p型氧化锌薄膜及其制造方法

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:02:45
本发明公开了一种含三种掺杂剂的氧化锌薄膜 及其制造方法，在含锂衬底上依次包括ZnO缓冲层、ZnO外 延层和P型ZnO三元共掺层，其中，三元共掺层所包含的三 种掺杂剂为：锂、氮、铝或镓。本发明的有益效果为：在含锂 衬底上采用高温扩散的办法让锂通过异质界面进入到ZnO薄 膜中制备p型ZnO薄膜，该膜含有锂、铝或镓以及氮三种掺杂 剂，可使膜的空穴浓度至少为5× 1017cm－ 3，电阻率低于3cm，霍耳迁移率在0.1～ 10cm2/Vs之间，这些性能允许p 型薄膜用于光生伏特和电致发光型器件的p－n同质结。
声明：
“含三种掺杂剂的p型氧化锌薄膜及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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