一种形成薄膜电池的方法,可以包括:在衬底中形成沟槽;在所述衬底的顶表面上沉积模板,其中所述模板与所述沟槽对准;在所述沟槽中沉积阴极层,其中所述阴极层与所述模板直接接触;以及将所述阴极层压缩到所述沟槽中以减小所述阴极层的厚度。将所述阴极层压缩到所述沟槽中可以包括使用压头将等静压力施加到所述阴极层上。该方法还可包括在所述阴极层的顶部上沉积电解质层,在所述电解质层的顶部上沉积阳极层,以及在所述阳极层的顶部上沉积阳极集电体层。
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