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含锂过渡金属氧化物靶

1050   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:00:30
本发明公开了一种形成具有双模态颗粒尺寸分布的LiMO2(例如LiCoO2)溅射靶(如空心圆柱靶体)的方法，其包括基于CIP的方法，所述方法涉及例如形成或获得LiMO2(例如LiCoO2)粉末；分散和研磨(例如湿磨)；粘结剂引入；干燥(例如喷雾干燥)，以形成颗粒；将所述颗粒CIP加工成模制形状；以及用于去粘结和烧结的加热循环，以形成致密化的烧结形状。所制造的靶体适用于被包括到溅射靶组件上(如旋转溅射靶组件，其中多个圆柱形靶体连接于背衬支撑件)。本发明包括根据基于CIP的方法以及基于感应加热器的方法形成的所得靶体，其用于通过使用被提供给靶体的并且在连接方法期间被感应加热器加热的被添加的导电包裹物或导电层将LiMO2(例如LiCoO2)的低电导率靶体连接(例如用金属焊料粘合)到共用背衬支撑件。
声明：
“含锂过渡金属氧化物靶” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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