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锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法

607   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:55:56
一种锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法，属于新能源材料领域。热处理后的二氧化钛纳米管阵列作为基体，经过抽真空、加热、预溅射、溅射后，冷却至40～80℃取出，其中溅射为：打开射频电源溅射硅；溅射过程中基体加热，完成后冷却至40～80℃后取出样品。将其作为负极载体材料，采用磁控溅射技术将硅溅射到二氧化钛纳米管薄膜表面和内部，沉积效率高，方法简便，重复性好。
声明：
“锂电用二氧化钛纳米管阵列固载硅负极材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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