本发明公开了一种聚合物锂离子电池的
负极材料碳纳米管涂附工艺,包括以下步骤:将基底放在工作台上,开启第一直联泵和第二直联泵再同时开启第一电磁阀、第二电磁阀、蝶阀、插板阀和球阀,当真空室和高真空室压强小于1Pa时, 关闭第二电磁阀和蝶阀,再启动分子泵同时开始使加热装置加热;调节球阀使第二真空计显示在5×10-3Pa及第一真空计显示在3×10-1Pa,这时的第三真空计应该显示在≤5×10-4Pa;当温度计显示在1200℃时保温2min,设定第一质量流量计为1l/min和第二质量流量计为2l/min,开启第一针阀,保持10秒,然后开启第二针阀,保持22秒,完成碳纳米管涂附。
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