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高介电材料锂磷氧氮

900   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:53:26
本发明提供一种新的高介电材料氮化的Li3PO4薄膜，简称锂磷氧氮(LiPON)，它具有介电性能，其介电常数在14～26之间。本发明对Al/Liipon/Si电容器的电容－电压(C－V)和电容－电流(I－V)的特性进行了测量。结果表明：Lipon薄膜是一个高的介电材料，漏电流在电场强度为107V/m时低于～10－6A/cm2，慢界面态密度在～1012cm－2，在硅禁代中央处的界面态密度估计为～1011eV－1cm－2。Al/Lipon/Al结构的等温瞬态离子流测量的结果显示了Lipon薄膜有很明显的极化。
声明：
“高介电材料锂磷氧氮” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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