本实用新型公开了一种锂离子电池生产用硅片清洗装置,包括壳体,所述壳体的左侧设有预清洗池,且预清洗池的底部设有放置板,所述放置板上放有花篮,且放置板的底部设有伸缩杆,所述预清洗池的右侧为清洗池,且清洗池的底部设有超声波发射器,所述清洗池的右侧壁上设有液体扇,且液体扇的转轴与电机的输出轴连接,所述液体扇的上方设有电磁感应线圈,所述壳体的右端外壁上设有控制台,且控制台的下方设有多个指示灯,所述壳体的顶部设有烘干机。本实用新型通过将预清洗池、清洗池、干燥装置设置在同一个装置中,减少了人工转移的工作量,同时也避免了硅片暴露在空气中。
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