本发明提供一种用于锂电保护的开关器件及其制作方法,包括:P+型衬底及P‑型外延层;第一绝缘沟槽,形成于体接触区域;N型阱区;两个P型阱区;两个栅极结构;共用的N‑型漂移区,形成于两个栅极结构之间;N型源区及P+型接触区;介质层,其打开有两个源区接触窗口及一体区接触窗口,所述体区接触窗口内的所述绝缘介质被去除形成第二沟槽,且第二沟槽侧壁保留有绝缘介质;以及填充于所述源区接触窗口、体区接触窗口及所述第二沟槽内的电极材料。本发明采用共用漂移区的方式构建MOSFET器件,大大降低漂移区区域电阻,同时保证耐压不变;将其中一个源区电极引到
芯片背面,可有效降低器件内阻;体区电极侧壁的绝缘介质可有效降低漏电流,并提高耐压。
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