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锂离子电池负极集流体材料及制备方法

646   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:46:23
一种锂离子电池负极集流体材料，包括金属铜箔，金属铜箔表面覆有碳化硅层，碳化硅层厚度是0.003-0.009mm。采用物理气相沉积方法中的射频磁控溅射工艺制备材料，其工艺条件为：以碳化硅为溅射靶，金属铜箔为溅射基材，通入氩气，射频电源频率为30-50MHz，加速电压为300-500V，磁场为50-200G，气压为1-5mTorr，电流密度为30-50mA/cm，功率密度为20-40W/cm，溅射靶与基材之间的距离为50-100mm，基材的速度为20-30m/min。
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