本发明公开了一种高稳定全固态薄膜
锂电池集流体薄膜的制备方法。所述制备方法包括:提供低应力衬底;采用直流磁控溅射法在所述衬底上依次原位制备金属粘合层和集流体层;继续通过程序控温进行退火晶化处理,得到集流体薄膜。本发明基于磁控溅射技术原位制备金属粘合层和集流体层两层金属膜,并采用一次性控温退火处理,不仅保持了薄膜结构和组分纯度,提高集流体结构的稳定性以及集流体层与衬底间的结合力,还大大降低金属粘合层被氧化的风险,保证集流体薄膜的优良导电性能;同时本发明方法制备的集流体薄膜厚度可控制在纳米级,有广泛应用前景。此外,本发明的制备方法可重复度高,工艺简单,可适用大规模生产。
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