本发明提供一种SiOx,在其升温脱气分析中,于200~800℃的温度范围检测到的H2O气体产生量为680ppm以下。在此,H2O气体产生量进一步优选为420ppm以下。另外,在通过X射线衍射而得到的图中,优选在2θ=28°附近产生的Si峰值点处的峰值强度P1和根据峰值点前后的平均斜度设定的峰值点处的基本强度P2满足(P1-P2)/P2≤0.2。通过将本发明的SiOx用作蒸镀材料,在成膜时可抑制喷溅的产生,可形成气体阻挡性优异的蒸镀膜。另外,通过将本发明的SiOx用作为负极活性物质,可较高地维持锂离子二次电池的初始效率。
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“SiOX及使用其的阻挡膜用蒸镀材料及锂离子二次电池用负极活性物质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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