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可集成的全固态锂离子薄膜微电池正极的制备方法

842   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:35:49
本发明公开了一种可集成的全固态锂离子薄膜 微电池正极的制备方法。方法如下：在氧化铝、氮化铝、石英 或者表面氧化的硅片的衬底上采用磁控溅射法沉积一层Pt、Au 或Al用作集流电极，在集流电极与衬底之间沉积一层Ti、Co 或Cr用作过渡层；以层状结构LiCo1－ xMxO2和尖晶石结构LiMn2－ xMxO4中所包含金属的氧化物、氢氧化物、碳酸 盐、硝酸盐或醋酸盐为原料制备粉末前驱体，将粉末前驱体研 磨、圆饼压制、分区段煅烧、炉冷得到脉冲激光沉积用靶材， 然后采用脉冲激光沉积法在金属化的衬底上均匀沉积一层正 极薄膜。该发明得到的薄膜正极结合力好，电极性能好，易于 集成并且制备成本较低。
声明：
“可集成的全固态锂离子薄膜微电池正极的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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