本发明公开了一种可集成的全固态锂离子薄膜 微电池正极的制备方法。方法如下:在
氧化铝、氮化铝、石英 或者表面氧化的硅片的衬底上采用磁控溅射法沉积一层Pt、Au 或Al用作集流电极,在集流电极与衬底之间沉积一层Ti、Co 或Cr用作过渡层;以层状结构LiCo1- xMxO2和尖晶石结构LiMn2- xMxO4中所包含金属的氧化物、氢氧化物、碳酸 盐、硝酸盐或醋酸盐为原料制备粉末前驱体,将粉末前驱体研 磨、圆饼压制、分区段煅烧、炉冷得到脉冲激光沉积用靶材, 然后采用脉冲激光沉积法在金属化的衬底上均匀沉积一层正 极薄膜。该发明得到的薄膜正极结合力好,电极性能好,易于 集成并且制备成本较低。
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