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锂离子电池材料的连续式真空化学气相沉积设备

875   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:33:06
本实用新型公开了一种锂离子电池材料的连续式真空化学气相沉积设备，要解决的技术问题是精确控制包覆层的膜厚。本实用新型设有反应室和传动装置，反应室为移动装置，传动装置为传输带循环式传动机，整个传动装置穿置于两端为敞口的四周封闭的分别为预热段、真空沉积段和降温段的流程通道内。本实用新型与现有技术相比，采用传动装置和可移动式反应室，实现了以流水线、自动化作业的方式进行化学气相沉积工艺，实现了对粉状基体进行包覆的加工工艺，工艺简单，容易精确控制包覆层的厚度，生产效率高，降低了生产成本，对环境无污染。
声明：
“锂离子电池材料的连续式真空化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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