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可排出氢气的锂电池铝箔电极沉积石墨烯薄膜用PECVD装置

836   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 22:32:42
可排出氢气的锂电池铝箔电极沉积石墨烯薄膜用PECVD装置，把真空沉积的PECVD腔体分成沉积室、气体分离室、储氢室，沉积过程使内部的气体流动循环，循环中通过仅可通过氢气的氢气滤膜过滤出氢气并排出到PECVD腔体外，在铝箔电极表面用等离子增强化学气象沉积碳形成石墨烯薄膜过程减少因氢含量过高影响石墨烯结构形成和沉积石墨烯不均匀，属于电池材料设备技术领域。
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