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用于大功率应用的使用YX切割的铌酸锂的横向激励的薄膜体声波谐振器

871   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:29:34
公开了声波谐振器器件、滤波器和方法。声波谐振器包括基板和具有正面和背面以及厚度ts的铌酸锂(LN)板。背面附接到基板的表面。LN板的一部分形成跨过基板中的空腔的隔膜。叉指换能器(IDT)在LN板的正面形成，其中IDT的交错的指状物设置在隔膜上。LN板和IDT被配置成使得施加到IDT的射频信号激发隔膜中的剪切主声波。LN板的欧拉角为[0°，β，0°]，其中0<β<60°。IDT的交错的指状物的厚度大于或等于0.8ts且小于或等于2.0ts。
声明：
“用于大功率应用的使用YX切割的铌酸锂的横向激励的薄膜体声波谐振器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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