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薄膜铌酸锂基异构集成微波光子收发芯片

714   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:28:58
本发明公开了一种薄膜铌酸锂基异构集成微波光子收发芯片，属于集成微波光子技术领域，该芯片主要包括射频转换开关、低噪声放大器电路、功率放大器电路、激光器、电光调制器、光电探测器、光路转换开关和光延时器，实现了射频收发前端、电光/光电转换与光延时芯片的异构集成；各光芯片之间通过薄膜铌酸锂基光波导连接，光芯片与微波芯片之间通过金属凸点键合及通孔互连等工艺实现三维异构集成。该芯片可以实现基于光子技术的微波收发与波束控制功能，且具有小型化、集成度高、性能稳定等优点，满足微波光子雷达系统收发前端大规模阵列化应用需求。
声明：
“薄膜铌酸锂基异构集成微波光子收发芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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