本发明公开了软脆晶体固结磨料研磨抛光技术领域的一种铌酸锂晶体亚表面损伤深度快速预测方法,该铌酸锂晶体亚表面损伤预测方法包括如下步骤:BPM模型建立:采用美国ITASCA公司研发的PFC2D二维离散元模拟软件,利用在设定的步长内不断迭代的方法来求解离散单元中刚性体的变形、受力和不同刚性体之间的相互作用,将设置好的外界输入参数施加在建立好的模型上,同时提取刚性体和相关墙体的当前接触参数,根据确定的本构关系来算出它们之间的接触力,本发明为LN等软脆晶体SSD的评价及控制提供了快速准确的预测方法,有效地确定了后续工序的加工去除量,同时为下一道工序的制定提供了参考依据,提高了LN等软脆晶体的研磨抛光加工效率。
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